半導(dǎo)體行業(yè)潔凈車(chē)間潔凈室解決方案是什么？
在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間行業(yè)，生產(chǎn)工藝的環(huán)境中，有抗靜電、防微振、高潔凈度、恒溫恒濕、照度、廢氣廢水排放，大宗氣體和特殊氣體排放等要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜，個(gè)別區(qū)域的潔凈室潔凈度要求甚至達(dá)到十級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)。
1.潔凈度
半導(dǎo)體凈化車(chē)間要確保高潔凈度，必須要對(duì)粉塵嚴(yán)格控制，保證粉塵只出不進(jìn)，因此凈化車(chē)間要保證正壓。建議在空調(diào)機(jī)組的基礎(chǔ)上，加裝大型鼓風(fēng)機(jī)，利用鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣連續(xù)不斷地輸入車(chē)間內(nèi)。
2.恒溫恒濕
保持車(chē)間內(nèi)恒溫恒濕，空調(diào)機(jī)組與鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)統(tǒng)一設(shè)計(jì)搭配使用。鼓風(fēng)機(jī)與空調(diào)系統(tǒng)同開(kāi)同關(guān)，必須保證車(chē)間內(nèi)溫濕度的穩(wěn)定。
3.氣流走向
半導(dǎo)體凈化車(chē)間內(nèi)設(shè)計(jì)的空氣流動(dòng)方向大部分以由上往下為主，因此，在人物流及工藝流程設(shè)計(jì)時(shí)要尤其注意，提前規(guī)劃空間設(shè)計(jì)，避免機(jī)械設(shè)備擺放突兀，將塵埃細(xì)菌等在凈化車(chē)間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至最低程度。
4.建材使用
所有建材均要求平順光滑，以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為宜，從內(nèi)部斷絕靜電的停留。
5.風(fēng)淋及除塵
除了科學(xué)設(shè)計(jì)人物流通道，盡量降低人物流移動(dòng)對(duì)氣流及粉塵的影響，所有人物流進(jìn)出潔凈車(chē)間，人必須穿配套防塵服，經(jīng)風(fēng)淋室除塵，物體非必要嚴(yán)禁進(jìn)入潔凈車(chē)間內(nèi)，日常通過(guò)物體必須經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵除掉。
6.內(nèi)水使用
半導(dǎo)體凈化車(chē)間內(nèi)使用且只限于去離子水。去離子水可以有效防止水中粉粒污染晶圓，還可以防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。
7.氣源使用
半導(dǎo)體凈化車(chē)間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?(98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。
技術(shù)的發(fā)展真的可以用日新月異來(lái)形容企業(yè)客戶(hù)在挑選凈化工程公司時(shí)，有哪些注意事項(xiàng)？具體可分為5條注意事項(xiàng)即：了解主體業(yè)務(wù)、查看公司資質(zhì)，查看工商信息、實(shí)地勘察、貨比三家。
附潔凈度相關(guān)知識(shí)：
潔凈度指潔凈空氣中空氣含塵（包括微生物）量多少的程度。
凈度100級(jí):大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L），大于等于5μm的塵粒數(shù)為0。
≥0.5μm；0.35粒/L<塵粒數(shù)≤3.5粒/L≥5μm；塵粒數(shù)=0
潔凈度1000級(jí):大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于3500粒/m3（3.5粒/L）到小于等于35000粒/m3（35粒/L），大于等于5μm的塵粒數(shù)小于等于300粒/m3（0.3粒/L）?！?.5μm；0.35粒/L<塵粒數(shù)≤3.5粒/L≥5μm；塵粒數(shù)=0
≥0.5μm；3.5粒/L<塵粒數(shù)≤35粒/L≥5μm；塵粒數(shù)≤0.3粒/L
潔凈度10000級(jí):大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒/m3（35粒/L）到小于等于350000粒/m3（350粒/L），大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒/m3（0.3粒/L）到小于等于3000粒/m3（3粒/L）。
潔凈度100000級(jí):大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350000粒/m3（350粒/L）到小于等于3500000粒/m3（3500粒/L），大于等于5μm的塵粒數(shù)大于3000粒/m3（3粒/L）到小于等于30000粒/m3（30粒/L）。
潔凈度300000級(jí):大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于3500000粒/m3（3500粒/L）到小于等于10500000粒/m3（10500粒/L），大于等于5μm的塵粒數(shù)大于30000粒/m3（30粒/L）到小于等于90000粒/m3（90粒/L）
≥0.5μm；3500粒/L<塵粒數(shù)≤10500粒/L≥5μm；塵粒數(shù)≤90粒/L
