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風淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的潔凈要求

風淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的潔凈要求

時間:2024-12-4 編輯:傳遞窗工程師

風淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的潔凈要求
在半導(dǎo)體行業(yè)中,生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度是至關(guān)重要的。這是因為半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造過程對塵埃、細菌等污染物的容忍度極低,任何微小的污染物都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能下降甚至報廢。風淋式傳遞窗作為一種高效潔凈設(shè)備,在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用越來越廣泛。本文將探討風淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的潔凈要求。

風淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的潔凈要求

一、潔凈度標準
半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈度標準通常以每立方米空氣中含有的塵埃粒子數(shù)量來衡量。根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)的規(guī)定,不同等級的潔凈室塵埃粒子濃度如下:
1級潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數(shù)量不超過1000個;
10級潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數(shù)量不超過10萬個;
100級潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數(shù)量不超過100萬個。
風淋式傳遞窗的潔凈要求應(yīng)與潔凈室等級相匹配,確保在傳遞過程中不會引入額外的污染物。

二、風淋式傳遞窗的工作原理
風淋式傳遞窗通過高速氣流對人員或物品進行吹淋,達到去除表面塵埃的目的。其工作原理如下:
人員或物品進入傳遞窗時,風淋系統(tǒng)啟動,高速氣流從上往下吹淋;
塵埃粒子在氣流作用下被吹離人員或物品表面,落入傳遞窗底部的塵埃收集器;
經(jīng)過風淋處理后,人員或物品進入潔凈室,確保其表面潔凈度符合要求。

三、風淋式傳遞窗潔凈要求
風速要求:風淋式傳遞窗的風速應(yīng)達到一定標準,以確保塵埃粒子能夠有效去除。通常,風速應(yīng)控制在每分鐘25-30米之間。
風淋時間:風淋時間應(yīng)足夠長,以確保塵埃粒子被充分吹離。根據(jù)實際需求,風淋時間一般在30秒至2分鐘之間。

密封性能:傳遞窗的密封性能至關(guān)重要,應(yīng)確保在風淋過程中不會產(chǎn)生泄漏,防止塵埃進入潔凈室。

維護保養(yǎng):定期對風淋式傳遞窗進行維護保養(yǎng),包括更換過濾網(wǎng)、清潔塵埃收集器等,以保證其長期穩(wěn)定運行。

與潔凈室配套:風淋式傳遞窗應(yīng)與潔凈室的其他潔凈設(shè)備(如空氣過濾器、高效送風口系統(tǒng)等)相匹配,共同保證潔凈室的潔凈度。

總之,風淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用對于保證生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度具有重要意義。了解并滿足其在潔凈要求方面的各項標準,有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

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