超凈工作臺(tái)的凈化過(guò)濾離不開HEPA高效過(guò)濾器:
超凈工作臺(tái)是隨著現(xiàn)代工業(yè)的崛起，越來(lái)越多環(huán)境都開始要求無(wú)塵無(wú)菌，做為無(wú)塵無(wú)菌空間的最典型代表-超凈工作臺(tái)的的舞臺(tái)也就越來(lái)越大了。
空氣凈化的產(chǎn)生：空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾的生產(chǎn)環(huán)境首先被航天工業(yè)使用。即使一個(gè)極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，美國(guó)航天中心和其服務(wù)商們建造了帶有過(guò)濾天花板夾層和過(guò)濾墻體的車間。而且首創(chuàng)了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個(gè)主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺(tái)。這個(gè)主要是把空氣過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)。在超凈工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸。
在大型車間中按順序排列的超凈工作臺(tái)組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中。超凈工作臺(tái)的過(guò)濾器是一種高效顆粒搜集過(guò)濾器（高效過(guò)濾網(wǎng)）。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過(guò)濾層，使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。高效過(guò)濾網(wǎng)可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法中。
一般來(lái)說(shuō)，HEPA高效過(guò)濾器裝于超凈工作臺(tái)頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA高效過(guò)濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）超凈工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。
有些超凈工作臺(tái)則把HEPA高效過(guò)濾器裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式超凈工作臺(tái)。
不管是哪種類型的超凈工作臺(tái)，都離不開使用HEPA高效過(guò)濾器，可以毫不夸張地說(shuō)：沒有了高效過(guò)濾器，超凈工作臺(tái)也就達(dá)不到其凈化要求。
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